东莞真空泵修理爪式泵是为半导体工业开展而研制的，它有如下一些特点：
1、与被抽气体触摸的表面防腐蚀耐磨损。
2、泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发作。
3、抽气原件为非触摸式的可实现高速工作（3000r/min）。
4、电气监控与操作，主要有电源，远距离操作和开关阀等的操控。
5、齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑，上端盖内的轴承用PFPE油脂润滑。
6、在泵腔内气流垂直运动，少数的颗粒物和液体等在重力效果下易于扫除。
7、该泵型式多样，功能能够扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有进口处防反流的阀门，出口处有截流阀，电气监控及报警装置。
8、进口防返流阀能将被抽容器与泵腔间隔，出口处截流阀能将泵的出口封闭起来，将泵通以净化气体，这些阀可主动开关，真空体系有可靠的维护，杜绝了向真空室的返流。
9、第二、三、四级均有净化气体进口，以改善被抽介质顺利经过泵腔，无此需要的能够不用通净化气体，净化气体用三个流量计别离调理，相互都是独立的，以保证节约惰性气体，利用三个电磁阀可微调其流量。
当泵出现毛病时泵能主动泊车，两个阀门一齐封闭或截流阀封闭。动力和遥控有一台变压器和整流器，以提供所需的电流电压，以满足监控过程的需要。
动力电源、继电器用以对马达的接通与断开及马达超负荷的维护。操作过程有显示器，有按钮操控，可操控马达、防返流阀的操控阀和截流阀的操控阀，第二、三、四级的净化气体的通断阀，惰性气体的主阀，净化气体向轴封处通气用的阀门等。
毛病的监控报警或泊车，体系安全主动操控，也可按钮操控。启动时，打开净化气体，泵正常运转3min，净化气体向各段涌入，通净化气体对泵性能有些影响。
每当遇到紧急情况可按主动泊车键，净化气体继续接通，封闭进口防返流阀，各级泵净化1min，净化完毕，马达再泊车，封闭惰性气体截止阀。
