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​东莞真空泵修理爪式泵是为半导体工业开展而研制的,它有如下一些特点:
1、与被抽气体触摸的表面防腐蚀耐磨损。
2、泵腔内无润滑剂,因而无返油现象发作。
3、抽气原件为非触摸式的可实现高速工作(3000r/min)。
4、电气监控与操作,主要有电源,远距离操作和开关阀等的操控。
5、齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑,上端盖内的轴承用PFPE油脂润滑。
6、在泵腔内气流垂直运动,少数的颗粒物和液体等在重力效果下易于扫除。
7、该泵型式多样,功能能够扩展,泵的主体,带有齿轮、马达以及气体净化设备,附件有进口处防反流的阀门,出口处有截流阀,电气监控及报警装置。
8、进口防返流阀能将被抽容器与泵腔间隔,出口处截流阀能将泵的出口封闭起来,将泵通以净化气体,这些阀可主动开关,真空体系有可靠的维护,杜绝了向真空室的返流。
9、第 二、三、四级均有净化气体进口,以改善被抽介质顺利经过泵腔,无此需要的能够不用通净化气体,净化气体用三个流量计别离调理,相互都是独立的,以保证节约惰性气体,利用三个电磁阀可微调其流量。
当泵出现毛病时泵能主动泊车,两个阀门一齐封闭或截流阀封闭。动力和遥控有一台变压器和整流器,以提供所需的电流电压,以满足监控过程的需要。
动力电源、继电器用以对马达的接通与断开及马达超负荷的维护。操作过程有显示器,有按钮操控,可操控马达、防返流阀的操控阀和截流阀的操控阀,第 二、三、四级的净化气体的通断阀,惰性气体的主阀,净化气体向轴封处通气用的阀门等。
毛病的监控报警或泊车,体系安全主动操控,也可按钮操控。启动时,打开净化气体,泵正常运转3min,净化气体向各段涌入,通净化气体对泵性能有些影响。
每当遇到紧急情况可按主动泊车键,净化气体继续接通,封闭进口防返流阀,各级泵净化1min,净化完毕,马达再泊车,封闭惰性气体截止阀。
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